屏幕上的数据条开始疯狂向上攀升。
100w……
200w……
瞬间突破了顾长明认知的极限。
250w!
“到了!”顾长明低吼,“这就是极限了!哪怕是aml……”
话音未落。
数据猛地又向上窜了一大截。
300w!
400w!
最终定格。
【lpp光源即时输出功率:500w】
啪嗒。
顾长明手中的特製防静电记录笔掉在了地上,摔成了两截。
“五……五百瓦?”
旁边那个负责光源检测的技术员,像是见了鬼一样,
“所长,我是不是眼花了?”
“这比aml最先进的还要高一倍?”
500w意味著什么?
意味著曝光速度翻倍,意味著良品率的大幅提升!
这是西方梦寐以求却迟迟无法攻克的技术高地!
现在,就在这间备用实验室里。。
在这台国產机器里,轻描淡写地实现了?
“假的……一定是软体造假……”
顾长明还在喃喃自语,
“我不信……这是提前写好的程序……”
“起开!”
一直站在旁边的牛一文一巴掌把他推开。
“磨磨唧唧!看个屁的数据!”
老院士双手在键盘上飞舞。
“上晶圆!”
牛一文一声令下。
机械臂无声地滑动,將一片早已准备好的12英寸硅晶圆送入曝光台。
“加载5纳米逻辑电路掩膜版!”
“对准!”
“曝光!”
嗤——