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第50章 此时此刻天亮了（第2页）

“光源系统、双工件台精度、物镜数值孔径……每一个参数，都给我核实三遍！

“只要有一个不达標，立刻停机！”

观察室里。

赵德发突然开始紧张起来，“林辰，稳得住吗？”

“顾所长这人虽然爱炫耀，但在技术上可是出了名的轴。。”

林辰表情十分轻鬆：“赵局，您就当是在看一场猴戏好了。”

实验室內。

顾长明深吸一口气。

手指颤抖著按下了那个红色的启动键。

嗡——！

低沉的轰鸣声响起。

声音浑厚，带著一种直击灵魂的穿透力。

那是大功率极紫外光源被激发时特有的声浪。

如同深海巨鯨的低吟。

“供电系统正常！”

“真空腔体压力正常！”

“冷却系统介入……温度恆定22摄氏度，误差0。01度！”

技术员的声音越来越高亢。

带著明显的颤音。

唰！

机身上，数万个状態指示灯瞬间被点亮。

全绿。

没有一个红灯报警。

这种工业暴力美学带来的视觉衝击，让玻璃墙外的所有人都下意识地屏住了呼吸。

“切入自检模式，调出光学参数！”

顾长明死咬著牙关下令。

大屏幕上，数据流疯狂刷屏。

“数值孔径（na）：0。33……”

“所长，这……这是標准euv的参数。”

顾长明死死盯著屏幕：

“別急！看光源！光源才是核心！”

“那是造假造不出来的！”

euv光刻机，难就难在光源。

那需要用大功率雷射轰击锡滴，產生13。5纳米的极紫外光。

这个过程对能量控制的要求，相当於在狂风暴雨中。

站在过山车上用机枪打中一只蚊子的左眼。

西方最顶级的机型，也不过250瓦。