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第390章 1n光刻机问世全世界第一片1n晶圆流片成功了（第2页）

“光源输出功率稳定在千瓦级以上，物镜系统装配精度完全符合您给的指標，工件台定位精度也稳在亚纳米级別！”

他顿了顿，深吸一口气，然后一字一句地说：

“曹所长说，可以准备首片晶圆流片了。”

江辰接过平板扫了一眼数据曲线，每一条都平滑得像死人的心电图，所有关键指標全绿。

他把平板还给老赵：“让他们准备流片。”

老赵愣了一秒，然后整个人像被电了一下似的弹起来，转身就往车间里跑，边跑边喊：

“江总说了！准备流片！都动起来动起来！”

车间里瞬间炸了。

曹所长从控制室衝出来，头髮乱得跟鸡窝似的，衣服皱巴巴的，一看就是熬了大半夜。

他衝到江辰面前，声音都在抖：

“江院士，真的可以流片了？”

“各项参数都达標了，可以试。”

曹所长用力点头，转身对著车间里所有人吼了一嗓子：

“都听到了吗？江院士说可以流片！”

“全体就位！准备首片晶圆流片！”

整个车间像一台被按下启动键的精密机器，瞬间高速运转起来。

刘工顶著两个黑眼圈从地铺上爬起来，精神头比喝了十罐红牛还足，嘴里喊著“光源组准备就绪”。

陈工在物镜系统控制台前坐下，匯报说光学对准已锁定，偏移量低於零点几纳米。

张工盯著工件台的实时数据，確认运动控制精度稳定，雷射干涉仪读数纹丝不动。

比亚帝的老陈也在，带著几个老技工守在旁边隨时待命。

工具都整整齐齐码在手推车上，六角扳手从大到小排成一排。

王川福站在车间角落，双手抱胸，表情看似淡定，但攥紧的拳头和微微发抖的手指还是暴露了他的紧张。

流片流程严格到近乎苛刻。

晶圆被机械臂从真空存储柜中取出，送入光刻机腔体，每一步都按照预定的sop执行。

曹所长盯著总控台上密密麻麻的数据，眼睛都不敢眨，额头上全是细密的汗珠。

刘工在旁边不停地搓手。

陈工一直咬著嘴唇看光路监控。

张工每隔几秒就小声念一句“稳住了稳住了”。

老赵站在角落里，手里的平板差点被他捏碎。

江辰拿著平板站在总控台旁边，屏幕上实时同步著流片进度和各项关键参数。

他表情平静，偶尔在某个数据上多停留一两秒，然后继续看下一个。