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第380章 光刻机调试遇难题江辰三言两语点破天机（第2页）

“环境振动，测了地基，没发现异常。”

“温度漂移，恆温系统正常，波动在零点零一度以內。”

“电磁干扰，屏蔽层检查过，没有问题。”

念完之后，整个车间安静了好几秒。

能查的都查了，找不到毛病。

江辰没说话，走到工件台旁边蹲下身，用手轻轻搭在基座表面。

他的感知力全开。

方圆八百米內的一切都在他的掌控之中。

而此刻，他所有的注意力都集中在这台机器最细微的振动上。

大概十来秒后，他站起来：

“老陈，你们这批工件台的底座，是不是跟第一批用的不是同一批次的铸造件？”

老陈愣了一下，赶紧翻手里的记录：

“对，第二批的底座用的是改良后的铸造工艺。”

“按您上次给的分阶段变温时效方案处理的，理论上残余应力释放应该更均匀才对。”

“问题不在应力，在密度。”

江辰指著底座的一角，“这批铸造件的模具，是不是换过？”

王川福眼睛一瞪，转头看向老陈。

老陈满头大汗地翻记录，翻了半天，忽然脸色一变：

“换过！之前那个模具用了十几年，表面有一些微裂纹，上个月我们换了一套新模具。”

“但尺寸、材质、工艺参数都没变啊！”

“参数没变，但新旧模具的导热性不一样。”

江辰语气很淡。

像是在说一加一等於二。

“新模具的导热係数比旧模具高了大概百分之几，这导致铸造过程中熔融金属的冷却速度发生了改变。”

“宏观尺寸看不出来，但微观密度分布不均匀。”

“底座的质心和形心不重合，引起微弱的惯性力矩。”

他指了指工件台的运动方向：“每次工件台高速往復运动的时候，这个微弱的惯性力矩就会產生一个极其微小的偏转。”

“雷射干涉仪捕捉到的就是这个偏转，不在机械结构上，不在电磁环境里，也不在温度漂移里，而是在底座本身的材料特性里。”

整个车间鸦雀无声。

曹所长张著嘴，半天没合上。

刘工手里的记录本差点掉地上。

陈工用力拍了一下自己脑门，声音在安静的车间里格外响亮：

“我早该想到的！密度分布不均匀会导致惯性主轴偏移！”

张工在旁边小声嘀咕：“这种级別的分析，咱们整个团队没一个人想到，江院士用手摸了一下就找出来了。”

“服了，真的服了。”

王川福沉默了好半天，然后转头对老陈说：

“江总刚才说的每一句话，都记下来了吗？”