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第7章 显影工艺（第2页）

【以宿主当前2116点积分，可获得以下相关技术（三选一）：】

【1。《双工件台运动精度优化算法（基础版）》：可將现有双工件台的同步精度提升3%，所需积分1100点。】

【2。《极紫外光源功率放大方案》：可有效解决极紫外光源对成像质量的影响，所需积分2100点。】

【3。《新型光刻胶显影工艺技术资料》：一种全新的化学显影思路，可绕开当前主流的tmah显影液技术壁垒，大幅提升显影解析度及均匀性，所需积分1800点。】

三个选项，清晰地罗列在林辰的脑海中。

第一个选项，是在牛一文院士团队现有成果上的小修小补，虽然有用，但不够顛覆。

第二个选项，技术价值很高，但2100点积分花出去，他就又变成穷光蛋了，不利於后续发展。

只有第三个！

林辰的目光死死地锁在了第三个选项上。

显影工艺！

这是光刻流程中，紧跟在曝光之后，决定了晶片电路图能否被精確“冲洗”出来的关键一步！

目前，全球高端光刻胶显影液（tmah）的生產技术，几乎被樱花国和鹰酱国的几家巨头公司垄断。

夏国每年都需要花费天价外匯去进口，还时常面临断供的风险。

而系统提供的这项技术，竟然可以直接绕开现有的技术壁垒！

这意味著什么？

这意味著一旦实现，夏国將拥有属於自己的、不受制於人的顶尖显影技术！

其战略意义，甚至不亚於牛一文院士的双工件台突破！

而且，实现它只需要1800点积分，实现之后，自己还能剩下316点积分作为备用。

完美！

“就选它了！”

林辰毫不犹豫地做出了决定。

“系统，我选择花费1800点积分，让自己学会《新型光刻胶显影工艺技术资料》！”

【指令已確认。】

【正在扣除积分……扣除成功。宿主当前剩余积分：316点。】

【《新型光刻胶显影工艺技术资料》正在灌输中……】

几乎是在系统提示音落下的瞬间。

林辰感觉自己的大脑“嗡”的一声，仿佛被一道无形的闪电劈中！

他眼前的世界瞬间消失了。

取而代之的，是一片浩瀚无垠的星空。

无数散发著各色光芒的分子结构式，如同璀璨的星辰，在他的眼前旋转、碰撞、重组。

那些原本在他看来如同天书般的苯环、酚醛树脂、光致產酸剂……在这一刻，仿佛都变成了他最熟悉的伙伴。

他“看”到了一种全新的有机碱化合物，在一个特定的等离子体环境中，如何以一种匪夷所思的方式，精准地识別並溶解那些被euv光线照射过的光刻胶分子。

其溶解速度比tmah快了三倍！