张院长亲自上了操作台。
张院长又亲自下了操作台。
只不过,上去的时候,是一阵风一样,火急火燎衝上去的。
下来的时候,是像霜打的茄子一样下来的。
短短半小时,一个人竟能变化如此之大,就好像张院长在实验台上不是在验证光源,而是在擦试管。
他脸上的表情很奇怪,既不是愤怒,也不是羞愧,而是一种如同梦游般的恍惚。
他手里紧紧攥著那份刚刚列印出来的光谱分析报告,眼神呆滯,仿佛三观刚刚被重塑了一遍。
李国栋一直盯著他,此时看到这副表情,心里那块大石头终於落了地。
稳了!
当然,他也不是没城府的人。
虽然心里乐开了花,但表面上却不动声色,甚至还装出一副关切的样子,快步迎了上去,扶住张院长的胳膊。
“老张,怎么样,出什么问题了吗?要是这光源不行,咱们赶紧让陈默拉走,別耽误咱们的正常工作。”
张院长像是没听见他的话一样,只是死死盯著手里的报告,嘴里不停地喃喃自语:“不可能……这怎么可能……”
“我设置了波长13。5,结果波长真的精准锁定在13。5纳米,光谱纯度高达99。999%……”
“最可怕的是这个功率稳定性,整整半个小时满负荷运行,功率波动竟然是一条直线!连0。01%的抖动都没有!”
“这可是20千瓦的超高功率啊,哪怕是理论模型,都不可能做到这么稳!”
“就算是阿斯麦最顶级的euv光源,也不过几百瓦,而且还需要极其复杂的温控系统来维持稳定。这个铁疙瘩它是怎么做到的?”
听著张院长那失魂落魄的碎碎念,李国栋嘴角忍不住微微上扬。
他拍了拍张院长的肩膀,语重心长地说道:“老张,这是好事儿啊!”
说完,他不再理会还在怀疑人生的张院长,猛地转过身,面对著直播镜头,那一刻,这位老科学家的腰杆挺得笔直,仿佛年轻了二十岁。
“同志们!网友们!”
李国栋的声音洪亮,甚至带著一丝颤音:“成功了!咱们成功了!”
“经过最严苛的测试,这台由陈默同志提供的ssmb光源,性能完全达標,甚至远远超出了我们的预期。”
“有了这个光源,哪怕是用我们现有的老式光刻机进行改造,也能轻鬆量產7纳米晶片。”
“不!只要配合上合格的镜头和双工件台,就算是3纳米、2纳米的晶片,我们也很快就能实现量產。”
“最不可思议的是……”
李国栋指著身后那台大概有一辆小货车大小的机器,激动地说道:“它的体积竟然这么小,简直是工业设计的奇蹟!”
直播间的网友们听到这话,稍微愣了一下。
【小?】
【老教授,你是不是对“小”有什么误解?】
【我看这玩意儿起码得有三米高,五六米长吧?这都赶上一间小臥室了,这还叫小?】
李国栋看著屏幕上的弹幕,笑著解释道:“小!太小了!”